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首頁 / 產品信息 / 產品參數 / 直拉硅拋光片
 
 
 --直拉硅拋光片
 --區熔單晶硅
 --大直徑單晶硅棒(片)
 生產能力
 
300mm
300mm epi
Type
P,N
P,N
Orientation
<100>
<100>
Dopant
B,P
B,P
Resistivity(Ω . cm)
0.5-100
0.1-50
Thickness(μ m)
775±25
775±25
Front Surface
Polished
Epi
STIR(μ m)
SFQR<0.15μm,25mm×25mm
SFQR<0.15μm,25mm×25mm
TTV(μ m)
GBIR<2μm
GBIR<2μm
Particle
<100,@0.12μm
<100,@0.12μm
Back Surface
Polished
Polished

200mm
150mm
Type
P,N
P,N
Orientation
<100>,<111>
<100>,<111>
Dopant
B,P,AS,Sb,Red Phos
B,P,AS,Sb,Red Phos
Resistivity(Ω . cm)
P/B     0.0035-90
N/As      0.001-0.005
N/Sb     0.005-0.1
N/P     0.07-70
N/Red P     0.0007-0.0018
Thickness(μ m)
625,675,725
375,450,525,625,675
Front Surface
Polished
Polished
STIR(μ m)
<1.2 , 25mm×25mm
<1 , 15mm×15mm
TTV(μ m)
<4
2.5-3
Particle
<10,@0.2μm
<10,@0.3μm
Back Surface
BSD,Poly back,SiO2,Ethed
BSD,Poly back,SiO2,Ethed

125mm
100mm
Type
P,N
P,N
Orientation
<100>,<111>
<100>,<111>
Dopant
B,P,AS,Sb,Red Phos
B,P,AS,Sb,Red Phos
Resistivity(Ω . cm)
P/B     0.0035-90
N/As      0.001-0.005
N/Sb     0.005-0.1
N/P     0.07-70
N/Red P     0.0007-0.0018
Thickness(μ m)
290,375,450,525,625
290,350,450,525
Front Surface
Polished
Polished
STIR(μ m)
1-1.5 , 15mm×15mm
1-2.0 , 15mm×15mm
TTV(μ m)
<4
<4
Particle
<10,@0.3μm
<10,@0.3μm
Back Surface
BSD,Poly back,SiO2,Ethed
BSD,Poly back,SiO2,Ethed

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